에스엔유, 비접촉식 프리얼라인 장치 관련 특허권 취득

입력 2016-03-16 15:54

정다운 기자 gamja@etoday.co.kr

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에스엔유는 비접촉식 프리얼라인 장치 및 방법에 대한 특허권을 취득했다고 16일 공시했다.

회사 측은 “기판에 물질을 증착하기 위한 얼라인 작업 시간을 단축하도록 사전에 예비 정렬하는 프리얼라인 장치에 관한 특허”라고 설명했다.

#에스엔유 #에스엔유

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