국제엘렉트릭코리아는 퍼니스형 반도체 설비 관련 특허권을 취득했다고 26일 공시했다.
회사측은 "조인트 부재의 온도 상승으로 인한 조인트 부재의 오링 손상을 예방해 가스 누설 및 파티클 발생을 방지 할 수 있는 효과를 갖는다"고 설명했다.
국제엘렉트릭코리아는 퍼니스형 반도체 설비 관련 특허권을 취득했다고 26일 공시했다.
회사측은 "조인트 부재의 온도 상승으로 인한 조인트 부재의 오링 손상을 예방해 가스 누설 및 파티클 발생을 방지 할 수 있는 효과를 갖는다"고 설명했다.
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