SPIE AL(SPIE Advanced Lithography + Patterning)는 1955년에 미국에서 설립된 광학, 광자학 분야 가장 권위 있는 국제 학회인 국제광전자공학회(SPIE, Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers)가 주최하는 콘퍼런스다. 반도체 회로를 그리기 위한 노광기술 전반에 대한 논의가 이뤄진다.
계측이란 반도체 제조 과정에서 반도체 소자의 물리적, 전기적 특성이 생산...
2024-02-29 09:33