켐트로닉스, EUV노광 공정 PGMEA 최종 테스트 돌입…99.999% 초고순도 구현

반도체ㆍ전자 공정 용역·소재 기업 켐트로닉스가 애플 신형 아이패드에 사용되는 ‘하이브리드 유기발광다이오드(OLED)’의 삼성디스플레이 물량에 대한 후공정 에칭 프로세스 용역 물량을 개시하면서 1분기 흑자전환했다.

여기에 극자외선(EUV) 노광 공정(PR)의 70~80%를 차지하는 핵심 원료 PGMEA(프로필렌글리콜 메틸 에테르 아세트산)를 글로벌 메모리 반도체 제조사에 최종 테스트를 진행 중이다.

16일 본지 취재를 종합하면 켐트로닉스는 반도체 제조 과정에서 나노미터 단위의 초미세패턴 구현을 위한 극자외선(EUV) 노광 공정에 적합한 포토레지스트(PR)에 적용되는 친환경 초고순도 소재인 PGMEA를 고객사와 품질 테스트 중이다. 이르면 하반기 테스트를 통과하면 내년 본격 납품을 기대하고 있다.

켐트로닉스 관계자는 “PR 세정 공정에서 쓰이는 소재인 PGMEA를 글로벌 메모리 고객사에 최종 테스트를 진행 중으로 매출은 내년부터 기대한다”라고 말했다.

품질테스트 중인 소재 PGMEA는 화학 사업에서 타 기업의 상품을 단순 유통하던 것을 자체 개발에 성공하면서 수익성 높은 아이템을 내재화하는데 의미가 있다.

PGMEA는 반도체 노광 공정(EUV)에 활용되는 포토레지스트(PR)의 70~80%를 차지하는 핵심 원료다. 켐트로닉스가 개발한 PGMEA는 극한에 가까운 EUV PR 결함을 제어하는 데 유리한 PGMEA로, 99.999%(5N)의 초고순도를 구현해 업계의 주목을 받고 있다.

향후 신규 식각 매출 증가와 화학 사업 저수익 소재를 정리하고, 반도체 웨이퍼 PR이나 세정에 들어가는 소재로 관련 매출 증대를 기대하고 있다.

켐트로닉스는 디스플레이 후공정 용역 관련 실적이 개선되며, 1분기 흑자 전환했다. 연결기준 1분기 매출액은 1474억 원으로 전년 대비 12% 증가했고, 영업이익은 30억 원 적자에서 124억 원 흑자 전환했다.

최근 하이브리드 OLED가 탑재된 제품이 시장에 공개되면서 관련 매출이 늘어난 것으로 관측된다. 하이브리드 OLED는 애플이 공개한 신형 아이패드에 채택된 디스플레이로 알려져 있다.

켐트로닉스는 공정 과정에서 에칭(식각)에 해당하는 공정에 특화된 제조사다. 삼성디스플레이와 오랫동안 협력사 관계를 유지하면서 후공정 에칭 프로세스의 물량을 도맡아 진행하고 있다.